Si基板上へのSiC超薄膜形成とSiCをバリアー層とする共鳴トンネルデバイスの試作
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概要
著者
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生駒 嘉史
九州大学大学院工学府材料物性工学専攻
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生駒 嘉史
九州大学大学院工学研究院材料工学部門
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渡鍋 文哉
九州大学工学部材料工学科
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本岡 輝昭
九州大学工学部材料工学科
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渡鍋 文哉
九州大学大学院工学研究院材料工学部門
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渡鍋 文哉
九州大学工学部
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