SOI基板を用いた新規AWGデバイスの作製

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• Silicon-on-insulator (SOI) technology is of interest for integrated optoelectronic circuits since it offers the potentiality of monolithic integration of optical and electronic functions. We designed and fabricated an equal array length arrayed waveguide grating (AWG) using SOI rib waveguides.

• 九州大学の論文

著者

• 生駒 嘉史

  九州大学大学院工学府材料物性工学専攻

• 生駒 嘉史

  九州大学大学院工学研究院材料工学部門

• 上沼 睦典

  九州大学大学院工学府材料物性工学専攻

• 岩永 剛

  富士ゼロックス株式会社

関連論文

• SOI基板を用いた新規AWGデバイスの作製
• Si基板上へのSiC超薄膜形成とSiCをバリアー層とする共鳴トンネルデバイスの試作
• 超音速フリージェットによるSi/Sic共鳴Si/Sic共鳴トンネルダイオードの形成
• アルミニウム単結晶の再結晶組織のOIMによる解析

スポンサーリンク