2次元マイクロ磁気スキャナの実用化に関する考察
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-12-22
著者
関連論文
- 双方向曲げ試験によるMEMSマイクロミラーのノッチングダメージ部の強度評価
- 111 MEMSマイクロミラーの強度へのICPエッチングダメージ及び荷重形態の影響(GS1 ナノ13)
- 1859 MEMSマイクロミラーの強度に及ぼすエッチングダメージの影響(J09-4 有限要素解析と強度信頼性評価,J09 電子情報機器,電子デバイスの熱制御と強度・信頼性評価)
- MEMS光ミラーの強度解析のための試験片と試験手法の開発
- 530 ベイジアンアップデートを用いたMEMSの設計応力推定法(電子部品・MEMSの信頼性確保,機械・構造物の信頼性,オーガナイスドセッション7,第53期学術講演会)
- MEMS技術を利用した電磁駆動型共振ミラー
- 2次元マイクロ磁気スキャナの実用化に関する考察
- MEMSマイクロミラーの静的強度と疲労強度に対する信頼性設計手法の提案
- MEMSマイクロミラーの強度信頼性解析(技術OS3-5 最適構造設計,技術OS3 電子・情報機器と材料力学)
- 820 シリコンビームの強度評価用 MEMS サンプルの開発と微小荷重試験
- シリコンマイクロ光学スキャナを用いた小型レーザーディスプレィ
- MEMS光スキャナ「エコスキャン」の製品化までの道のり(承のものづくり)