ラジカルビームソースを用いたZnO薄膜の合成
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概要
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- 日本表面科学会の論文
- 2000-07-10
著者
-
野副 尚一
物質工学工業技術研究所
-
杉澤 智哉
東京理科大学理工学部
-
三木 裕文
東京理科大学理工学部
-
桂 一匡
筑波大学物質工学系
-
野副 尚一
筑波大学物質工学系
-
三木 裕文
東理大
-
三木 裕文
東京理科大学
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