三フッ化窒素/酸素混合ガスプラズマによるポリイミドフィルムのエッチング機構
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概要
著者
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柳川 紀行
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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貞本 満
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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貞本 満
三井化学株式会社 マテリアルサイエンス研究所
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岩森 暁
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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奈良 亮介
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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