柳川 紀行 | 三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所

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概要

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関連著者

• 柳川 紀行

  三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所

• 貞本 満

  三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所

• 貞本 満

  三井化学株式会社 マテリアルサイエンス研究所

• 岩森 暁

  三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所

• 小田川 健二

  三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所

• 奈良 亮介

  三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所

• 中原 重樹

  MC リサーチセンター

著作論文

• 繊維強化プラスチック(FRP)製真空チャンバーの特性
• 三フッ化窒素/酸素混合ガスプラズマによるポリイミドフィルムのエッチング機構
• NF_3-O_2プラズマによるポリイミドのドライエッチング
• HI を用いた誘導結合プラズマによる ITO 薄膜の高性能エッチング

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