NF_3-O_2プラズマによるポリイミドのドライエッチング
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概要
著者
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柳川 紀行
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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貞本 満
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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貞本 満
三井化学株式会社 マテリアルサイエンス研究所
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岩森 暁
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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中原 重樹
MC リサーチセンター
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