銅薄膜とポリイミド基板の密着性に及ぼす表面粗さの影響
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概要
著者
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岩森 暁
三井化学(株)マテリアルサイエンス研究所
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福田 信弘
三井東圧化学(株)
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須藤 和冬
(株)エム・シー・リサーチセンター
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岩森 暁
三井東圧化学株式会社 総合研究所
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宮下 武博
三井東圧化学株式会社 総合研究所
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福田 伸
三井東圧化学株式会社 総合研究所
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須藤 和冬
三井東圧化学株式会社 総合研究所
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福田 信弘
三井東圧化学株式会社 総合研究所
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福田 伸
三井東圧化学(株)総合研究所
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