単結晶シリコンの超音波複合研削
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概要
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- 1997-10-01
著者
-
橋本 洋
神奈川工科大学 工学部 機械工学科
-
今井 健一郎
神奈川工科大学工学部機械工学科
-
橋本 洋
神奈川工大
-
吉田 雄二
東京ダイヤモンド
-
ZHENNAI Sun
ハルビン工業大学
-
YUSHAN Lu
東北大学
-
橋本 洋
神奈川工科大学
-
今井 健一郎
神奈川工科大学 工学部 機械工学科
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