電子サイクロトロン共鳴スパッタリング法による窒化炭素薄膜の合成
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概要
著者
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上條 栄治
龍谷大学理工学部
-
青井 芳史
龍谷大学理工学部
-
谷 庸治
龍谷大学大学院理工学研究科
-
青井 芳史
龍谷大学 理工学部
-
上條 栄治
龍谷大学 理工学部
-
上條 栄治
龍谷大学理工学部物質化学科
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