パルス変調表面波モードマイクロ波アルゴンプラズマの時間分解発光特性
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概要
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- 1998-03-20
著者
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岡本 哲
ウシオ電機株式会社技術部開発課
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岡本 幸雄
東洋大学理工学部電気電子情報工学科
-
渡辺 成一
(株)日立製作所 笠戸工場
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渡辺 成一
(株)日立製作所笠戸工場開発センター
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筒井 照彦
東洋大学工学部電気電子工学科
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岡本 哲
東海大学工学部工業化学科
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岡本 幸雄
東洋大学バイオ・ナノエレクトロニクス研究センター
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岡本 哲
ウシオ電機(株)技術部開発課
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岡本 幸雄
東洋大学 工業技術研究所
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