微粒子分析のための大電力大気圧ヘリウムマイクロ波誘導プラズマの特性
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概要
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大気圧ヘリウムマイクロ波誘導プラズマ（He-MIP）を，表面波励起型のOkamoto cavityを用いて，大電力領域（〜1 kW）でも安定に生成し，その励起温度と電子密度のマイクロ波電力依存性などを明らかにした．マイクロ波電力800 Wのとき，鉄の励起温度と電子密度はそれぞれ8000 Kと2×1014/cm3であった．更に，このHe-MIPの発光分光分析への応用として，固体の組成分析のためのレーザーアブレーションと組み合わせた固体中の非金属粒子（カーボン）の検出と微粒子の組成分析などのための懸濁液（アルミナ粉末 : 平均粒径 : 〜1 μm）の時間分解発光分光特性を示し，このHe-MIPは，水溶液中の非金属元素分析のみならず，これらの分析にも大変有効であることを述べた．
- 2009-06-05
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