30a-R-10 CSP(Concentric Spread Plasma)のプラズマ特性と生成機構の検討

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概要

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• 1997-03-28

著者

• 古瀬 宗雄

  (株)日立ハイテクノロジーズ

• 角屋 誠浩

  (株)日立製作所 笠戸工場

• 田村 仁

  (株)日立製作所 機械研究所

• 渡辺 成一

  (株)日立製作所 笠戸工場

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