スパッタリング蒸着法によるAl-Ta-Si合金薄膜の比抵抗に及ぼすSi量の影響

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 1996-05-20

著者

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 吉川 一男

  株式会社神戸製鋼所電子技術研究所

• 高木 勝寿

  株式会社神戸製鋼所電子技術研究所

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 吉川 一男

  コベルコ科研 ターゲット事業本部 技術部

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