Al-Taスパッタ膜におけるTaの固溶・析出の比抵抗および耐ヒロック性への影響

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 1995-06-20

著者

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所技術開発本部

• 岩村 栄治

  株式会社神戸製鋼所電子技術研究所

• 吉川 一男

  株式会社神戸製鋼所電子技術研究所

• 大西 隆

  株式会社神戸製鋼所 技術開発本部

• 吉川 一男

  コベルコ科研 ターゲット事業本部 技術部

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