吉川 一男 | コベルコ科研 ターゲット事業本部 技術部
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概要
関連著者
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吉川 一男
コベルコ科研 ターゲット事業本部 技術部
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大西 隆
株式会社神戸製鋼所技術開発本部
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吉川 一男
株式会社神戸製鋼所電子技術研究所
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大西 隆
株式会社神戸製鋼所 技術開発本部
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岩村 栄治
株式会社神戸製鋼所電子技術研究所
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高木 勝寿
株式会社神戸製鋼所電子技術研究所
著作論文
- Al-Taスパッタ膜におけるTaの固溶・析出の比抵抗および耐ヒロック性への影響
- 解説 液晶パネル用アルミニウム合金ターゲット材料 (特集:薄膜技術)
- スパッタリング蒸着法によるAl-Ta-Si合金薄膜の比抵抗に及ぼすSi量の影響