スパッタリングにより成膜したTiAlN薄膜の結晶構造のAl濃度依存性

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1995-03-20

著者

• 小柳 剛

  Dongguk Univ.

• 小柳 剛

  山口大学工学部

• 小柳 剛

  山口大工

• 原田 寛

  宇部興産(株)

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