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原田 寛 | 宇部興産(株)
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関連著者
小柳 剛
Dongguk Univ.
小柳 剛
山口大学工学部
小柳 剛
山口大工
原田 寛
宇部興産(株)
著作論文
スパッタリングにより成膜したTiAlN薄膜の結晶構造のAl濃度依存性
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