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立命館大学 立命館グローバル・イノベーション研究機構 | 論文
- 単結晶シリコンナノワイヤーピエゾ抵抗素子の製作と特性評価
- 2728 自立型ポリシリコン熱電変換デバイスの製作
- センサ用薄膜内部応力のアニール効果のラマン分光法による検討
- 価電子バンドに基づくp型Siのピエゾ抵抗効果の解析
- マルチチップサービスを用いた薄膜ダイアフラムデバイスの開発
- 応力の3軸成分を有効利用したピエゾ抵抗型カセンサ
- 特別講演1 MEMSが拓くメカトロニクスの将来 (第8回知能メカトロニクスワークショップ講演論文集)
- 大規模柔軟体の特定部位を対象とした力覚インタラクションのためのハイブリッド動的変形モデル(医療応用,人工現実感)
- SOIウェハを用いた5軸モーションセンサとその設計一手法
- 先端光学デバイス創製用SR光ナノフォーミング金型の開発 (特集 中小企業が切り拓く先端的型技術--折り返しを迎えた戦略的基盤技術力強化事業) -- (超微細・精密・複雑構造部品成形加工金型技術)
- 展望 放射光による微細加工 (特集 放射光と高分子)
- 放射光リソグラフィーによる3次元マイクロ・ナノ構造の製作
- サーモパイルを用いた熱式MEMSフローセンサの開発
- 有接点RF MEMSスイッチ/リレー用静電駆動アクチュエータの開発
- 有接点RF MEMSリレーの開発
- 解説 マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー(ファンダリー・ネットワーク構築に向けて) (特集 マイクロマシン--実用化とナノ領域への展開)
- 放電プラズマ焼結法を利用した金属間化合物系材料の製造--MEMSへの応用をねらったマイクロパーツの製作 (特集 放電プラズマ焼結法(SPS)による新材料開発)
- LIGAプロセスによる高周波厚膜磁心の製作に関する研究
- オンラインリメッシュ型柔軟物シミュレーションのGPUによる高速化(シミュレーション,人工現実感)
- 超音波プローブ用アレイ型振動子の作製