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東京大学大学院工学系研究科精密機械工学専攻 | 論文
- 常温接合
- SCREAM法を用いた真空封止評価専用デバイスの開発
- 常温封止接合におけるAuスパッタ薄膜表面形状の影響
- 高密度実装のためのCu超微細ピッチバンプレスインタコネクト(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- 高密度実装のためのCu超微細ピッチバンプレスインタコネクト(LSIシステムの実装・モジュール化・インタフェース技術,テスト技術,一般)
- 高密度実装のためのCu超微細ピッチバンプレスインタコネクト
- 高密度実装のためのCu超微細ピッチバンプレスインタコネクト
- CMP-Cu薄膜の表面活性化常温直接接合における真空露出量の影響の評価
- 医療福祉における精密工学の将来展望(医療福祉工学専門委員会,専門委員会・分科会研究レビュー)
- 医用・福祉工学の最先端(医療福祉工学専門委員会)(専門委員会研究レビュー)
- Si/Si, Si/CuのAr高速原子ビームによる表面活性化常温封止接合(SiP要素技術と信頼性解析, 先端電子デバイス実装技術と解析・評価技術の最新動向論文)
- Cu超微細電極の常温直接接合を用いたバンプレスインタコネクト(微細インタコネクション技術, 先端電子デバイス実装技術と解析・評価技術の最新動向論文)
- 通信技術を用いた野生動物の位置探索システムの開発
- 低温接合に基づく3次元ハイブリッド光集積技術と超小型・薄型光マイクロセンサへの応用 (特集 異種材料光集積技術の現状と展望)
- C-3-86 異種材料を融合した光マイクロシステムにおける低温接合技術(光インターコネクション(2)・ファイバグレーティング,C-3. 光エレクトロニクス,一般セッション)
- 小型生体計測センサの実装技術(高齢者の健康・就労支援と精密工学)
- 面発光レーザチップの低温直接接合
- シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ
- シリコンスライダを用いた弾性表面波モータ
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