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日電アネルバ | 論文
- レーザーマイクロプローブ質量分析法による塩化ビニル樹脂配合剤のプレートアウト現象の評価
- アブストラクト
- 大気浮遊粒子状物質の簡易発光分光分析法
- 小型ECRイオン源のイオン分析
- 半導体産業と真空
- 縦型両面放電プラズマCVD装置の開発
- アブストラクト
- 超LSI量産用スパッタ装置によるTiN膜の特性
- マイクロプローブオージェ電子分光装置
- 高速マグネトロンスパッタリングによる炭素薄膜の作製
- アブストラクト
- 高速マグネトロンRFスパッタ法によるタンタル薄膜
- 焼結タ-ゲットによるシリサイド・スパッタ膜の特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 2重構造タ-ゲットによるAlスパッタ膜のステップカバレッジ(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 1p-BA-9 高周波電場中のプローブ特性(プラズマ物理・核融合(原子過程とプラズマ診断),第41回年会)