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日本真空技術 (株) 超材料研究所 | 論文
- 真空蒸着およびスパッタによるAl膜の形成と評価
- 硬質膜の実用化開発
- 巻取方式マグネトロンプラズマ化学蒸着によるダイヤモンド状炭素膜の形成とその特性
- 超硬質膜形成と応用の展望(硬質膜の精密工業への応用)
- PVD 法による機能性材料(材料表面機能化とその材料特性)
- プラズマCVD法によるハードディスクDLC保護膜の作製
- 透明バリヤー膜の形成技術
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- アブストラクト
- 偏光解析モニタのプロセス装置への組み込みに対する対策
- 偏光解析法を利用した膜厚モニタ
- 偏光解析法による薄膜の自動インライン評価
- TiCを被覆したJT-60用第一壁材料の開発 (III) : HCD-ARE法によるインコネル基材へのコーティング
- 酸素プラズマによるGaAs, Siの陽極酸化
- Ti-N薄膜のガス放出特性 (III)
- 鋼板の連続アルミナイジング
- 60kW電子ピーム炉によるタンタルの溶解試験
- 高温真空炉における熱絶縁について
- SiNx膜生産用インライン式プラズマCVD装置