酸素プラズマによるGaAs, Siの陽極酸化

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概要

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著者

• 松沢 昭生

  日本真空技術 (株) 超材料研究所

• 伊藤 隆生

  日本真空技術株式会社

• 石川 裕一

  日本真空技術株式会社

• 柳田 博司

  日本真空技術株式会社

• 柳田 博司

  日本真空技術 (株)

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