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日本真空技術株式会社 | 論文
- ステンレス鋼製真空容器内表面への水分子の付着確率
- 気体放出速度測定に及ぼす排気速度の影響
- レーザー誘起昇温離脱による真空容器脱ガス過程の観察
- クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
- 反射高速電子回折で励起した2次電子のスピン計測
- スピンバルブ膜の特性に及ぼす成膜条件の影響
- フリーマン型ガスイオン源によるイオンビームの特性
- フリーマン型スパッターイオン源の開発とその製膜への応用
- 11・4 真空ポンプ(11.空気機械)(流体工学機械工学年鑑(1997年))
- パルス管冷凍機の冷凍性能および冷凍温度安定性
- アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気
- 高温超伝導体を利用した極高真空対応磁気浮上搬送装置の真空特性評価
- 酸化物超電導体を用いた磁気浮上型搬送装置
- 超短波帯プラズマ化学気相成長法によるSiNx膜の作製
- シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
- 極高真空用材料の真空特性
- 真空材料からのガス放出
- TiN 成膜したステンレス鋼の水素透過特性 (II)
- 各種表面処理ステンレス鋼の昇温脱離特性
- XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チェンバーからのガス放出特性