スポンサーリンク
日本真空技術(株)技術開発部 | 論文
- レーリー散乱による中真空領域の実用真空計の検討
- 低圧, 高密度NLDプラズマと有機Low-kエッチングプロセス
- 4. 磁気中性線放電 (NLD) プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 IV
- 磁気中性線放電プラズマによるSiO2膜の高速エッチング
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の評価
- 直流測定型広帯域電離真空計の諸特性
- エネルギーフィルター付き四極子形質量分析計の開発
- 極高真空用真空計(AT Gauge)の特性向上-残留電流の低減と感度の向上-
- ヘリウムリークディテクター用磁場偏向型質量分析管の開発
- 6p-D-12 低エネルギープロトン(0.1〜6KeV)によるMo,Cのスパッタリング収率
- 3p-H-8 シートプラズマ中の振動現象
- 3p-RC-6 シートプラズマの特性(V)
- 3p-RC-3 TPD型電極部の圧力分布
- 鏡面 Si ウエハー対応真空中ダストモニターの開発
- 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
- 長寿命・大電流プラズマ陰極形イオン源の開発
- 2a-J-1 プラズマフィラメント型・酸素イオン源の開発
- 高温超伝導体を利用した極高真空対応磁気浮上搬送装置の真空特性評価
- 酸化物超電導体を用いた磁気浮上型搬送装置
- プラズマエッチング装置の高周波バイアス電極におけるイオンエネルギー分布