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京大 大学院工学研究科 | 論文
- 4-8 X線吸収分光法(XAFS)と熱力学平衡モデルによる根圏土壌の重金属形態の解明(4.土壌物理化学・鉱物,2009年度京都大会)
- 2C1018 鉄鋼業からの大気への水銀排出挙動(1空間-5東アジア,一般研究発表)
- 41120 敦煌莫高窟内の壁画の劣化に及ぼす塩の影響(水分による劣化と保全,環境工学II)
- 医薬品の出荷量からの下水処理場流入原単位の推定と実測値との比較
- MR Elastographyにおける定常および非定常振動を用いた撮影法の評価
- アイオノマーインターリーフした複合材料(CFRP)の制振特性
- 41133 闘鶏山古墳の保存環境に関する研究 : (その1)石槨及び周辺地盤の環境実測(水分による劣化と保存,環境工学II)
- 41079 住宅におけるエネルギー使用のパターン解析(その1)(住宅のエネルギー消費(1),環境工学II)
- 1.はじめに(ドライエッチングの科学と技術の新局面)
- 8.おわりに(ドライエッチングの科学と技術の新局面)
- 最近の展望 マイクロプラズマスラスター
- 第58回気体エレクトロニクス会議(58th Gaseous Electronics Conference)
- An Atomic Scale Model of Multilayer Surface Reactions and the Feature Profile Evolution during Plasma Etching
- マイクロプラズマスラスターの研究開発 (特集 宇宙高温工学)
- 誘導結合型フルオロカｰボンプラズマを用いた高誘電率HfO_2薄膜のエッチング
- 半導体プラズマプロセスシミュレーションとTCAD
- プラズマCVDと溶媒処理を用いたフルオロカーボン系多孔質構造Low-K薄膜の作成
- Numerical Analysis of the Electromagnetic Fields in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves
- Si ドライエッチング技術
- 3.1 プラズマエッチング : 3. プラズマプロセス装置におけるプラズマ・表面相互作用(プラズマ・表面相互作用) : 多様なPSI現象