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中部大学工学部電気システム工学科 | 論文
- 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果 (特集 日本のプラズマ研究最前線)
- コンデンサモータの負荷時電磁振動に及ぼすスロット数組合せおよび斜めスロットの影響
- 雷雲に対する誘雨ロケットの消雷効果 (ロケット誘雨実験報告)
- ロケット誘雨実験から消雷技術へ
- 周波数シフトプローブを用いたプラズマ計測
- IUVSTA Scientific and Technical Divisions (STD) の報告
- 周波数シフトプローブにおける膜堆積の影響
- 周波数シフトプローブの電子温度計測への応用
- 周波数シフトプローブを用いた電子密度測定におけるプローブ形状の影響
- デュアル表面波プローブを用いた電子密度・電子温度の計測
- プラズマイオン注入における平板ターゲットの二次電子放出率の計測
- 29pA10P プラズマからの真空紫外光とプラズマイオン注入における二次電子放出係数(プラズマ基礎・応用)
- 半導体検出器を用いたプラズマイオン注入における二次電子計測
- 27aA04 プラズマ吸収プローブを用いた有磁場プラズマの密度測定(プラズマ基礎・応用)
- 高周波バイアスを用いた高密度プラズマエッチャー内壁における膜堆積抑制
- イオン衝撃による酸化膜エッチャーの壁制御
- 26aB6 新しい高周波バイアス法による壁制御とエッチングへの応用(ヘリカル/プラズマ応用)
- Plasma Absorption Probe for Measuring Electron Density in an Environment Soiled with Processing Plasmas
- Diagnostic of Surface Wave Plasma for Oxide Etching in Comparison with Inductive RF Plasma
- 表面波励起エッチャーにおけるプラズマ診断とラジカル組成