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三菱重工業(株)動機事業本部再生エネルギー事業部太陽電池事業ユニット | 論文
- バラン給電法によるVHFプラズマの特性
- 超音速不足噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長
- ラダー電極を用いた大面積均一VHFプラズマの生成と製膜への応用
- 2614 高効率微結晶タンデム太陽電池量産化への取り組み(G08 動力エネルギーシステム,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- OS2-18 太陽電池製膜用高生産性プラズマCVD装置の開発(OS2 自然エネルギー,循環型社会における動力エネルギー技術)
- レーザ計測の燃焼, 流れ, プラズマ場への応用
- 3.超高周波を用いた大面積プラズマCVDの開発と薄膜シリコン太陽電池への応用(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)
- 石炭ガス化複合発電の開発(高効率化への挑戦)
- 再生可能エネルギー利用の概要(再生可能な自然エネルギー利用の現状)