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ニコン | 論文
- アクチュエータの多点配置によるアクティブ除振装置の広帯域化(機械力学,計測,自動制御)
- 20aHX-2 電荷密度波カイラリティの発見 : 1T-TiSe_2におけるSTM・光学測定による面内異方CDWの観測(20aHX 超伝導・電荷密度波,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
- 露光装置の地震対策 : —ソフトランディングによる装置保護—
- 25pZW-6 スペース重力波アンテナDECIGO計画XIII : 設計・計画・パスファインダー(重力波(招待講演),宇宙線・宇宙物理領域)
- 21aZH-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画X(設計・計画)(21aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 21aZH-2 スペース重力波アンテナDECIGO計画XII(パスファインダー)(21aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28aSG-1 スペース重力波アンテナDECIGO計画VII : 設計・計画(28aSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28aSG-3 スペース重力波アンテナDECIGO計画IX : パスファインダー(28aSG 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- 2質点4自由度モデルを用いたガントリ型超精密位置決めステージの機構と制御における同時最適化の基礎検討
- 21aZH-3 スペース重力波アンテナDECIGO計画XI(サイエンス)(21aZH 重力波,宇宙線・宇宙物理領域)
- スキャン光学エンコーダによるギャップ計測に関する一研究--レーザ干渉スキャン光学系と位相同期検波による2次元計測
- 元圧変動フィードフォワード補償の切替えによるハンチングの一抑制法
- タグチメソッドを用いた空圧式除振装置の一公差設計(機械力学,計測,自動制御)
- 空圧式除振装置に対する元圧・元流量変動フィードフォワード制御
- 絶対変位センサのアクティブ除振装置への適用
- ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
- 完全追従制御法を用いた大型ステージのモデルの妥当性検証と精密位置決め制御
- ステージ駆動力と表面形状を用いたスキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御の実験的検証
- 超精密ステージの機構と制御の同時最適化の基礎検討
- マルチレート制御に基づく大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
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