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アルバック | 論文
- 高空孔率(50%)高強度(9GPa)自己組織化ポーラスシリカ膜を用いた32nmノードLSI向け超低誘電率膜(k=2.1)Cuダマシン多層配線(配線・実装技術と関連材料技術)
- 28a-S-6 高速イオンビームシャドーイング II.イオンの固体内荷電状態
- 28a-S-5 高速イオンビームシャドーイング I.固体結合電子分布の解析
- プラズマ・プロセス技術
- 28pPSA-18 MgF_2/Al_2O_3 複合絶縁膜によるグラニュラー多層膜のトンネル磁気抵抗効果
- ポーラスシリカの低誘電率絶縁膜への応用
- Mn_3Ir/Co-Fe積層膜のL1_2規則相形成に及ぼすスパッタガス種の影響(薄膜・微粒子・多層膜・人工格子)
- 207 カーボンナノチューブ膜をエミッタとしたマイクロ熱加工法の研究(1)
- フィールドエミッションディスプレイ用カーボンナノ材料の研究開発
- 次世代LSI配線用低誘電率多孔質シリカ膜の開発
- 酸化チタン膜可視光応答化処理装置の開発 (特集2 可視光応答型光触媒の開発最前線)
- 新型Low-kシリカ膜 : 高規則性を有した空孔構造
- 3P251 固体高分解能NMRによるソマトスタチンの脂質二重膜との相互作用解析(生体膜・人工膜 A) 構造・物性))
- 電界放出型ディスプレイ(FED)用蛍光体の技術開発 (この「技術」が時代を変える)
- 自己組織化単分子膜のパターニングで作製した基板を用いた三次元細胞培養の検討
- 2P250 ウシラクトフェリシンと酸性リン脂質二重膜との相互作用およびその抗菌作用に及ぼすカルジオリピンの影響(生体膜・人工膜,口頭発表,第45回日本生物物理学会年会)
- 希土類ドープITO膜及びチッ化Si膜の光学特性
- 1P319 表面生体分子パターニングのための新しい表面処理技術の研究開発(バイオエンジニアリング,ポスター発表,第45回日本生物物理学会年会)