スポンサーリンク
(株)東京精密 | 論文
- パッド表面分析による研磨メカニズムの研究(第2報) : ドレッシング無しの研磨過程におけるパッド表面状態の解析
- パッド表面分析による研磨メカニズムの研究(第1報) : FT-IRおよびラマン散乱分光分析による立ち上げパッド表面状態の解析
- パッド表面分析による研磨メカニズムの検討
- 工作機械用電気的心ぶれ測定装置
- 工作機械用高精度自動定位装置の研究
- 試作した触針電気式表面あらさ測定器について
- 三次元曲面形状測定プローブの基礎的研究
- 吸着水表面におけるタッピング運動の解析
- 差動トランス(LVDT)を応用した終点検出機構の特性-2step Cu CMPへの適用-
- Cuデュアルダマシンプロセスにおける電解複合CMPの基礎的研究
- Fraunhofer 回折による超精密加工表面粗さ測定装置の開発研究 : 光学系誤差の補正法
- 一般円筒形状部品の旋削作業における加工精度補償システム
- 切削状態の適応予測による加工精度補償(第2報)段付き丸棒旋削加工における精度補償
- 磁気格子の較正装置 : 測定技術および計測標準
- 大型ねじのフランク精密測定器の試作
- NC工作機械の運動精度に関する研究(第1報) : DBB法による運動誤差の測定と評価
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第3報) : 性能向上の試み
- LD周波数変調光ファイバ変位センサ(第2報) : 応答速度の検討
- 同時5軸制御運動の実軌跡を利用したテーブル旋回形5軸制御マシニングセンタの幾何偏差同定(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 昭和61年度春季大会学術講演会に見る「計測, 機構, 機器, 機素」関連研究の動向