スポンサーリンク
(株)日立製作所 | 論文
- 24・1 MEMS応用分野の話題(24.マイクロ・ナノ工学,機械工学年鑑)
- 537 繊維状触覚センサにおける力学的変形モデルとそれによる力検出評価(T04 MEMS技術を用いたヒューマンインターフェース,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 430 単結晶シリコン薄膜の破壊靱性値 : 温度および方位依存性(T09-2 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(2) 単結晶シリコンの力学特性,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 単結晶シリコンのTEM内引張試験法の開発
- 織物状触覚センサにおける張力の影響
- ステント実装型流量センサの開発
- 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去法に関する研究
- 剪断変形型圧電素子を用いたアクティブヘッドスライダ
- 656 多段クラッチを用いたアレイ状触覚表示デバイスの開発(OS8-2,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- 655 アルカリ性水溶液を用いたスキャロッピング除去法(OS8-2,OS8 マイクロ・ナノ工学)
- W01(1) マイクロ・ナノ工学専門会議発足の意義(【W01】機械工学におけるマイクロ・ナノ工学)
- 2839 単結晶シリコン薄膜の破壊靱性に及ぼす寸法と環境温度の効果(S08-3 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(3),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 2831 薄膜の曲げ試験用デバイスの開発(S08-2 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開(2),S08 微小機械設計・開発のための実験力学の新展開)
- 中空糸材を用いた静電容量型織物状触覚センサ
- 自励・自己検出機能を有する水晶音叉型AFMプローブの開発
- MEMS'07 The 20^ IEEE International Conference on Micro-Electro-Mechanical Systems 報告
- 1100 MEMS産業基盤強化の最近の動向(キーノートスピーチ,マイクロメカトロニクス)
- 11-217 学年レベルに応じた階層的モノづくり実習コース : 創造工学センターを拠点とする実習コース開発の取り組み((7)ものつくり教育-V)
- 磁性微粒子を利用した液滴搬送によるマイクロ生化学システムの研究
- 機械加工とシリコンエッチングによる薬液導入路を持つマイクロニードルアレイの製作
スポンサーリンク