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(株)日立製作所中央研究所 | 論文
- Cu-CMP用FX-CMP砥石の開発
- 静圧直線案内のベルト駆動(第1報) : 直線運動精度
- 固定砥粒を用いたSTI平坦化プロセスの研究(第1報) : 平坦化加工性向上のための要因分析
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第3報):加工均一性の検討
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発(第2報):気孔制御による低スクラッチ化
- シリコンウェハの加工 STI用固定砥粒CMP (特集 高付加価値を生み出す固定砥粒研磨技術)
- STI用固定砥粒CMP(FX-CMP)の開発 : 砥粒の選定
- マルチ工具を用いた加工力の動的制御による非球面ミラー研磨加工技術
- 加工力の動的制御による非球面ミラーの研磨加工
- 結像位置におけるヘテロダイン干渉を用いた位置検出法
- 多チャネルシステム用DC-SQUID磁束計の開発
- SFI-5向け低電力データリカバリー回路方式の開発(VLSI回路, デバイス技術(高速, 低電圧, 低電力))
- SFI-5インターフェース向けCDR用クロック生成回路の設計
- バイポーラ・トランジスタにおけるα線ノイズ電流の増倍現象とその回路的な取り扱い
- オンチップ高抵抗配線の高速伝送方式
- 白金薄膜の水素応答特性
- B-5-114 IMT-2000実験システム : 広帯域CDMA移動局
- W-CDMA方式対応1チップ受信LSIの開発
- PRML方式における非線形要因のビットエラーレートへの影響
- PRMLチャネルにおけるMRヘッドの波形非対称性の影響