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(株)アルバック筑波超材料研究所 | 論文
- 〔座談会〕 これからの真空科学とその応用
- 大面積触媒CVD装置の開発
- ポリイミド薄膜 (特集「金属屋のための高分子材料入門」)
- 蒸着重合法による抗菌性ポリイミド薄膜の作製
- 真空装置用アルマイト処理
- 抗菌性ポリイミドの開発
- 真空用Al合金の表面酸化膜構造とガス放出特性
- ステンレス鋼に成膜した真空材料としてのTiN膜の特性と評価
- 化学研磨したステンレス鋼のガス放出特性
- 真空材料向け化学研磨によるアルミニウム合金の表面処理
- アルミニウム合金の低ガス放出表面処理
- 流路切り替え法によるアルミニウム合金からの水の放出速度測定
- 流路切り替え法によるステンレス鋼チャンバーのガス放出特性評価
- 流路切り替え法によるガス放出速度測定
- ホローカソード放電法で作製したダイヤモンド状炭素膜および窒化炭素膜の特性評価
- 高速生成ダイヤモンド状炭素膜および窒化炭素膜の機械的特性(硬質材料の創製とその応用)
- 電解研磨ステンレス鋼のガス放出特性と表面分析
- 電子線マイクロアナライザによる TiN 組成分析
- シリコン-炭素成膜によるステンレス鋼の水放出速度低減化
- 超短波帯プラズマ化学気相成長法によるSiNx膜の作製