上田 晃 | 三菱マテリアル株式会社中央研究所

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概要

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• 三菱マテリアル株式会社中央研究所の論文著者

三菱マテリアル株式会社中央研究所 | 論文

• 酸素イオン注入 Si 層の結晶性回復と向上 - SIMOX の結晶性向上 -
• SOIウェーハの表面欠陥評価とそのデバイス特性への影響
• SOIウェーハの表面欠陥評価とそのデバイス特性への影響
• Siエピタキシャル成長におけるCOPピットの挙動(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
• Si ウエハー表面金属の洗浄液中での挙動

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