生田目 俊秀 | 明治大学理工学研究科:物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

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概要

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  物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

• 知京 豊裕

  物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点

• 小橋 和義

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• 山下 良之

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• 小椋 厚志

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著作論文

• HfO_2/Ge界面へのルチル型TiO_2挿入によるGeO_x生成の抑制(高誘電率膜,界面制御,メモリ技術,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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