末重 良宝 | 東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻

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関連著者

• 末重 良宝

  東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻

• 須賀 唯知

  東京大学

• 伊藤 寿浩

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 須賀 唯知

  東京大学大学院 工学系研究科

• 一木 正聡

  （独）産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター

• 一木 正聡

  独立行政法人産業技術総合研究所

• 本多 史明

  東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻

• 細野 智史

  東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻

• 藤野 真久

  東京大学大学院 工学系研究科 精密工学専攻

• 伊藤 寿浩

  （独）産業技術総合研究所集積マイクロシステム研究センター

• 末重 良宝

  東京大学

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著作論文

• 化学溶液塗布法による誘電体薄膜の高均質化とウェハレベル成膜
• 剥離性基板上へのPZT薄膜作製とその密着特性

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