石田 慎哉 | 筑波大学
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概要
関連著者
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村上 浩一
筑波大学
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石田 慎哉
筑波大学
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滝口 亮
筑波大学
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横野 茂樹
筑波大学
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村上 浩一
筑波大学 数理物質科学研究科 電子・物理工学専攻
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深田 直樹
東北大金研:(現)筑波大物理工学系
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深田 直樹
物質材料研究機構
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関口 隆史
(独)物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点
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深田 直樹
(独)物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点
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深田 直樹
物質・材料研究機構
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関口 隆史
(独) 物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点
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深田 直樹
(独) 物質・材料研究機構国際ナノアーキテクトニクス研究拠点
著作論文
- シリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物の挙動 : 熱酸化過程での偏析挙動(ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)
- シリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物の挙動 : 熱酸化過程での偏析挙動