望月 和浩 | (株)日立製作所中央研究所

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概要

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• 望月 和浩

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• 田中 健一

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著作論文

• SC-9-3 裏面エミッタ電極を有する小型 InGaP/GaAs コレクタアップ・トンネリングコレクタ HBT
• C-10-3 裏面エミッタ電極を有するInGaP/GaAsコレクタアップ・トンネリングコレクタHBTの試作
• クエン酸系ウエットエッチングによるトランジスタ直下Via-holeの形成(化合物半導体デバイスのプロセス技術)
• C-10-13 裏面放熱孔を有する InGaP/GaAs コレクタアップ HBT における熱安定動作のイオン打ち込み量依存性
• C-10-18 InGaP/GaAs HBT直流安全動作領域限界
• ドライエッチングにより作製した微細 AlGaAs/GaAs ヘテロ接合バイポーラトランジスタの信頼性評価

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