Uematsu Masashi | NTT Basic Research Laboratories, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan

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概要

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• NTT Basic Research Laboratories, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japanの論文著者

関連著者

• SHIRAISHI Kenji

  NTT Basic Research Laboratories

• Kageshima Hiroyuki

  Ntt Basic Research Laboratories

• Uematsu Masashi

  Ntt Basic Research Laboratories

• Uematsu Masashi

  NTT Basic Research Laboratories, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan

• Shiraishi Kenji

  NTT Basic Research Laboratories, 3-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan

著作論文

• The Effect of Chlorine on Silicon Oxidation: Simulation based on the Interfacial Silicon Emission Model

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