原田 裕介 | 沖電気工業(株)超LSI研究開発センター

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概要

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• 沖電気工業(株)超LSI研究開発センターの論文著者

沖電気工業(株)超LSI研究開発センター | 論文

• Al合金/Ti積層構造における下地絶縁膜表面粗さのAl合金膜特性への影響
• Al合金/Ti構造における下地絶縁膜表面粗さのAl配向性への影響
• 多層配線における埋め込みヴィアホール形成技術
• スパッタCuリフロー法による溝埋込み配線形成
• Al高温スパッタ法により形成される生成物と配線信頼性への影響

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