川上 信之 | 株式会社神戸製鋼所電子技術研究所
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概要
関連著者
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川上 信之
株式会社神戸製鋼所電子技術研究所
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真鍋 知多佳
(株)神戸製鋼所電子技術研究所
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丸山 政克
株式会社神戸製鋼所生産システム研究所
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真鍋 知多佳
株式会社神戸製鋼所生産システム研究所
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福本 吉人
株式会社神戸製鋼所生産システム研究所
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平野 貴之
株式会社神戸製鋼所電子技術研究所
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芝原 健太郎
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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福本 吉人
(株)神戸製鋼所生産システム研究所
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真鍋 知多佳
(株)神戸製鋼所生産システム研究所
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真鍋 知多佳
神戸製鋼所 電子技研
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芝原 健太郎
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所:広島大学大学院先端物質科学研究科
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丸山 政克
(株)神戸製鋼所生産システム研究所
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中西 和樹
京大院・理
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中西 和樹
京都大学大学院理学研究科化学専攻
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中西 和樹
京都大学大学院理学研究科
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田中 丈晴
株式会社神戸製鋼所機械研究所
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横山 新
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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野津 大輔
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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鬼松 大
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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川上 信之
神戸製鋼電子技術研究所
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青木 康志
広島大学ナノデバイス・システム研究センター
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釘宮 敏洋
株式会社神戸製鋼所電子情報研究所
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横山 新
広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所
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釘宮 敏洋
神戸製鋼所 電子技研
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鬼松 大
広島大学ナノデバイヌ・システム研究センター
著作論文
- C-6-10 多孔質シリカを用いた低誘電率誘電体基板(C-6. 電子部品・材料, エレクトロニクス2)
- ダイヤモンド薄膜の微細加工技術 (特集:微細組織制御技術)
- ダイヤモンドpip形FETの開発
- ダイヤモンド紫外線LED
- B-1-86 多孔質基板を用いたミリ波パッチアンテナ(B-1.アンテナ・伝播B(アンテナ一般))
- 重イオン注入を用いたSuper Steep Retrogradeチャネル形成によるMOSFETしきい値揺らぎの低減
- LOCOS端に誘起される欠陥のウエハ種依存性評価