鳥居 卓爾 | 日立工機(株)勝田研究所
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概要
関連著者
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鳥居 卓爾
(株)日立製作所機械研究所
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鳥居 卓爾
日立工機(株)勝田研究所
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小林 淳一
(株)日立製作所
著作論文
- 半導体プロセスにおける流れや熱の問題
- 新形ホットウォールタイプ枚葉拡散装置による半導体ウエハの熱処理実験
- 縦形半導体拡散装置におけるウエハ温度分布の解析
- 半導体拡散プロセスにおける挿入時の積層ウエハの温度分布
- 酸化膜,窒化膜付シリコンウエハの950℃における放射熱物性
- 不純物導入,拡散プロセスにおける熱的問題 : 半導体デバイスの製造技術
- 1.「エントロピー生成によるガスタービン翼の冷却方式の評価
- 下部を加熱された狭い垂直環状空間内自然対流 : 第3報, 各種要因が対流発生に及ぼす影響
- 下部を加熱された狭い垂直環状空間内自然対流 : 第2報, 非線形数値解析
- 下部を加熱された狭い垂直環状空間内自然対流 : 第1報, 対流発生限界の解析
- 「エントロピー生成」によるガスタービン翼の冷却方式の評価
- B-3ガスタービン翼の冷却の研究-I : エントロピー生産による冷却性能の表現