飯野 利喜 | (株)日立製作所機械研究所

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概要

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関連著者

• 飯野 利喜

  (株)日立製作所機械研究所

• 笠井 憲一

  (株)日立製作所

• 笠井 憲一

  (株)日立製作所機械研究所

• 高木 亨之

  (株)日立製作所機械研究所

• 小林 淳一

  (株)日立製作所機械研究所

• 小林 暁峯

  (株)日立製作所機械研究所

• 鳥居 卓爾

  (株)日立製作所機械研究所

• 都築 浩一

  (株)日立製作所機械研究所

• 鳥居 卓爾

  日立工機(株)勝田研究所

• 鳥居 卓爾

  (株)日立製作所

• 金子 広美

  (株)日立製作所機械研究所

• 金子 廣美

  (株)日立製作所機械研究所

• 星野 正和

  日立 機械研

• 吉永 洋一

  (株)日立製作所機械研究所

• 吉永 洋一

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• 菊地 勝昭

  (株)日立製作所土浦工場

• 佐藤 宣明

  (株)日立製作所機械研究所

• 真瀬 正弘

  (株)日立製作所機械研究所

• 横井 信安

  (株)日立製作所生産技術部

• 今井 正也

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• 小松 一紘

  (株)日立製作所土浦工場

• 真瀬 正弘

  (株)日立製作所 土浦工場

• 高木 亭之

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• 星野 正和

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• 菊池 勝昭

  (株)日立製作所土浦工場

• 真瀬 正弘

  (株)日立インダストリイズ開発研究所

• 小林 暁峯

  (株)日立製作所

• 小林 淳一

  (株)日立製作所

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著作論文

• 半導体プロセスにおける流れや熱の問題
• 遠心羽根車内の流れ計測
• 環状シールの流体力特性を考慮した多段遠心ポンプ軸系の設計法
• 多段遠心ポンプ軸の回転曲げ応力の研究
• 遠心羽根車とディフューザの干渉による非定常流れの解析 : 第1報,ポンプ羽根車内の圧力変動の測定
• ポンプ環状シール部の軸受動特性に関する実験的研究 : 第1報,平滑なシール
• クリーンルーム内気中じんあい挙動解析
• 回転塗布における膜厚変化過程の光干渉による計測

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