奥谷 真士 | 京都工芸繊維大学工芸科学研究科
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概要
関連著者
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吉本 昌広
京都工芸繊維大学
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奥谷 真士
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
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Yoo Woo
Wafer Masters Inc.
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Yoo Woo
Wafermasters Inc.
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吉本 昌広
京都工芸繊維大学地域共同研究センター
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吉本 昌広
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
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高島 周平
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
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村井 剛太
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
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田川 修治
京都工芸繊維大学工芸科学研究科
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Woo Sik
WaferMasters,Inc
著作論文
- ホトルミネセンス法およびDLTS法によるシリコン極浅接合の再結晶化過程の評価(シリコン関連材料の作製と評価)
- ナノスケールウエットエッチング法を用いたSi極浅接合の深さ方向ホトルミネセンス分析(シリコン関連材料の作製と評価)