Yoo Woo | Wafermasters Inc.

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概要

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関連著者

• Yoo Woo

  Wafer Masters Inc.

• Yoo Woo

  Wafermasters Inc.

• Yoo Woo

  WaferMasters, Inc.

• Kang Kitaek

  Wafer Masters Inc.

• Kang Kitaek

  WaferMasters, Inc.

• Kang Kitaek

  Wafermasters Inc.

• 吉本 昌広

  京都工芸繊維大学地域共同研究センター

• 吉本 昌広

  京都工芸繊維大学

• 高島 周平

  京都工芸繊維大学工芸科学研究科

• 奥谷 真士

  京都工芸繊維大学工芸科学研究科

著作論文

• Pulsed Focused-Laser Beam Annealing of Ultra-Shallow Implanted Silicon and In Situ Dopant Activation Monitoring
• Impact of Annealing Methods and Sequences on Dopant Activation and Diffusion of Ultra-shallow Implanted Silicon
• ホトルミネセンス法およびDLTS法によるシリコン極浅接合の再結晶化過程の評価(シリコン関連材料の作製と評価)

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