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吉田 和敏 | (株)小糸製作所
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(株)小糸製作所の論文著者
関連著者
仲秋 勇
静岡県静岡工業技術センタ
仲秋 勇
静岡県工業技術センター
斎藤 順雄
静岡大学電子工学研究所
田中 孝彦
静岡県工業技術センター
吉田 和敏
(株)小糸製作所
著作論文
プラズマCVD法により形成したa-SiC:H膜の基板温度依存性
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