米川 直道 | 野村マイクロサイエンス(株)開発部

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概要

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• 同名の論文著者
• 野村マイクロサイエンス(株)開発部の論文著者

関連著者

• 米川 直道

  野村マイクロサイエンス(株)開発部

• 大見 忠弘

  東北大学工学部

• 安井 信一

  東北大学工学部

• 米川 直道

  東北大学工学部電子工学科

• 二ツ木 高志

  オルガノ株式会社

• 二ツ木 高志

  東北大学電気通信研究所

• 大見 忠弘

  東北大学電子工学科

• 國本 文智

  東北大学工学部電子工学科

• 小島 泉里

  東北大学工学部電子工学科

• 安井 信一

  東北大学電子工学科

• 米川 直道

  東北大学電子工学科

• 小島 泉里

  東北大学大学院工学研究科電子工学専攻:野村マイクロ・サイエンス株式会社開発部

• Frederic W.

  General Technology division in ESSEX Junction,Vermont,USA IBM Corporation,USA

• Frederic W.

  General Technology Division In Essex Junction Vermont Usa Ibm Corporation Usa

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著作論文

• オゾン添加超純水を用いたシリコンウエハ表面の有機物除去
• スピンクリーニング法によるシリコンウェハのウルトラクリーン・ウェット洗浄技術
• 有機物汚染のないシリコンウェハ表面洗浄技術
• 極微量の有機物汚染を計測する

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