嶋屋 正一 | Ntt El研究所
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概要
関連著者
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嶋屋 正一
Ntt El研究所
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嶋屋 正一
NTT LSI研究所
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小川 重男
日本電信電話株式会社ntt Lsi研究所ナノエレクトロニクス研究部
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川村 直毅
Ntt Lsi研究所
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塩野 登
シンポジウム実行委員会
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塩野 登
Ntt Lsi研
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小川 重男
NTT LSI研究所
著作論文
- OBIC手法によるCMOS-LSIの故障解析
- 半導体関連信頼性研究の動向 : 第35回国際信頼性物理シンポジウム参加報告
- 低温リーク電流評価によるLSIの異常リーク電流の検出
- 極薄酸化膜MOS界面の界面準位評価 : BT試験による界面準位発生のゲート膜厚依存性