小川 重男 | NTT LSI研究所

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概要

• 同名の論文著者
• NTT LSI研究所の論文著者

関連著者

• 小川 重男

  日本電信電話株式会社ntt Lsi研究所ナノエレクトロニクス研究部

• 塩野 登

  シンポジウム実行委員会

• 塩野 登

  Ntt Lsi研

• 嶋屋 正一

  NTT LSI研究所

• 嶋屋 正一

  Ntt El研究所

• 小川 重男

  NTT LSI研究所

著作論文

• 極薄酸化膜MOS界面の界面準位評価 : BT試験による界面準位発生のゲート膜厚依存性

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